合作项目:薄膜产品生产反应釜控温
合作产品:电加热防爆导热油炉
合作时间:2024年4月
微电子材料制造企业的生产线以反应釜为核心设备,主要用于生产高性能薄膜。由于生产过程中涉及易燃易爆的化学物质,生产区域被划分为防爆区域。此前客户使用的非防爆型导热油炉已无法满足安全要求,当地锅检局要求进行设备改造,确保符合防爆标准。
客户的主要控温对象是反应釜及其连接的管路系统。反应釜内的化学反应对温度波动极为敏感,要求控温精度在±1℃以内。由于反应釜体积较大,导热油炉需要具备快速升温和大流量循环的能力,以确保反应釜内温度均匀分布。
针对客户的需求,为其配备了两台180KW的电加热防爆导热油炉。该机型采用正压防爆设计,完全符合防爆区域的安全标准。导热油炉的加热功率为180KW,配备5.5KW的循环泵,扬程达到50米,能够满足大流量循环的需求,确保导热油的高效输送。
为了节省空间,设备采用撬装设计,将加热系统、循环泵和控制系统集成在一个紧凑的模块中,便于安装和维护。导热油炉的控温精度达到±0.5℃,远超客户要求的±1℃,确保了反应釜内温度的稳定性和均匀性。
改造后的电加热防爆导热油炉完全满足了客户的工艺需求。设备运行稳定,温度控制精度高,反应釜内的化学反应更加均匀,薄膜产品的质量显著提升。
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